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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

產(chǎn)品介紹

可用于集成電路Q(chēng)FN、壓電陶瓷、發(fā)光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學(xué)器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍(lán)寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓，具有單主軸和雙主軸的機(jī)型。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn)，將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。

產(chǎn)品介紹：

● 1.8KW（2.4KW可選）大功率直流主軸

● 高剛性龍門(mén)式結(jié)構(gòu)

● T軸旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達(dá)

● 進(jìn)口超高精密級(jí)滾柱型導(dǎo)軌

● 進(jìn)口超高精密滾珠型絲桿

● CCD雙鏡頭自動(dòng)影像系統(tǒng)

● 友好人機(jī)交互界面

● 瑞士進(jìn)口滾柱導(dǎo)軌，精度高，耐用性久，穩(wěn)定性高，超高直線(xiàn)度，實(shí)測(cè)0.9μm

● 采用進(jìn)口研磨級(jí)超高精密滾珠絲杠，定位精度可達(dá)2μm全行程

● 自動(dòng)對(duì)焦功能，具有CSP切割功能，具有在線(xiàn)刀痕檢測(cè)功能

● NCS非接觸測(cè)高，BBD刀破損檢測(cè)，自動(dòng)修磨法蘭功能

● 工件形狀識(shí)別功能，更加友好人機(jī)界面

● 自動(dòng)化程序著提升

● 滿(mǎn)足各種加工工藝需求

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目	產(chǎn)品型號(hào)	BT3352 精密砂輪劃片機(jī)
	加工尺寸	?305mm/260mm×260mm或定制
X軸	最大速度	600mm/s
X軸	直線(xiàn)度	2μm全行程
Y軸	有效行程	310mm
	定位精度	2μm全行程
	分辨率	0.1μm
Z軸	有效行程	40mm
	單步步盡量	0.0005mm
	最大刀輪直徑	60mm或定制
T軸	轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍	380
主軸	最大轉(zhuǎn)速	60000rpm
主軸	額定輸出功率	直流1.8/2.4KW
基礎(chǔ)規(guī)格	電源	220V/50Hz
	壓縮空氣	0.5-0.6Mpa、Max220L/min
	切削水	0.2-0.3Mpa、Max 4L/min
	排風(fēng)流量	3m3/min
	尺寸（mm）	1080X1160X1810
	重量	1200KG